精品国产一区二区三区av佳人-欧洲精品久久久久久久久-久久夜色精品国产欧美乱极品-成人午夜福利片在线观看

技術(shù)文章您現(xiàn)在的位置:首頁 > 技術(shù)文章 > VEECO MOCVD鍍膜機半導(dǎo)體技術(shù)參數(shù)

VEECO MOCVD鍍膜機半導(dǎo)體技術(shù)參數(shù)

更新時間:2022-12-30   點擊次數(shù):1316次

 

LSA 101激光尖刺退火系統(tǒng)

Veeco的LSA101系統(tǒng)安裝在 的IDM和晶圓代工廠,是大規(guī)模生產(chǎn)40nm至14nm節(jié)點先進(jìn)邏輯器件的 技術(shù)?;赩eeco可定制的Unity平臺™,LSA 101掃描技術(shù)在均勻性和低應(yīng)力加工方面具有根本優(yōu)勢。LSA101系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)關(guān)鍵的毫秒退火應(yīng)用,使客戶能夠保持精確的、有針對性的高加工溫度,從而實現(xiàn)器件性能的提高、更低的泄漏和更高的良率。

標(biāo)準(zhǔn)的LSA101配置利用單一窄激光束將晶圓表面從基板溫度加熱到峰值退火溫度。為了應(yīng)對日益復(fù)雜
的工藝要求,Veeco開發(fā)了雙光束技術(shù),擴展了非熔體激光退火的應(yīng)用空間,并以第二束低功率激光束為特色,實現(xiàn)低溫加工。當(dāng)使用雙光束時,第二寬的激光束被合并來預(yù)熱晶圓。雙梁系統(tǒng)提供了調(diào)節(jié)溫度和應(yīng)力剖面的靈活性。

 

北京志鴻恒拓科技有限公司

北京志鴻恒拓科技有限公司

地址:北京市朝陽區(qū)建國路88號soho現(xiàn)代城

© 2024 版權(quán)所有:北京志鴻恒拓科技有限公司  備案號:京ICP備16029562號-5  總訪問量:563412  sitemap.xml  技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)  管理登陸

平顶山市| 固安县| 廊坊市| 醴陵市| 孝感市| 田阳县| 合阳县| 金阳县| 株洲县| 正定县| 桐柏县| 汾西县| 治县。| 密云县| 花垣县| 区。| 垣曲县| 大足县| 杭锦旗| 松溪县| 河源市| 台东县| 巴彦淖尔市| 昌吉市| 综艺| 故城县| 玉田县| 冀州市| 拜城县| 班戈县| 腾冲县| 新化县| 榆社县| 新和县| 伊吾县| 荆州市| 界首市| 通江县| 江源县| 凤庆县| 肃北|